بهبود گزینش پذیری در کاربردهای CMP ژرمانیوم

عنوان بهبود گزینش پذیری در کاربردهای CMP ژرمانیوم
نویسنده Karagöz، Ayşe، Başim، Gül Bahar
تاریخ انتشار: 2014
محل انتشار - ECS
نوع سند
زبان انگلیسی
دیجیتال بله
نسخه خطی خیر
کتابخانه: دانشگاه اوزیغین
شناسه دارایی کتابخانه 2-s2.0-84925339915
شماره ثبت a164f709-c2a6-49ab-a737-f59ad101a8a8
محل کتابخانه مهندسی مکانیک
تاریخ 2014
یادداشت‌ها با توجه به محدودیت های کپی رایت، دسترسی به متن کامل این مقاله تنها از طریق اشتراک امکان پذیر است.
متن نمونه در مقاله ارائه شده، ویژگی‌های جذب سورفکتانت‌های کاتیونی و آنیونی بر روی ژرمانیوم و سیلیس به منظور بهبود گزینش‌پذیری در کاربردهای صفحه‌نمایش مکانیکی شیمیایی جداسازی ترانشه کم عمق بر پایه ژرمانیوم مورد بررسی قرار گرفت. مشاهده شد که ساختارهای سورفکتانت خود مونتاژ شده بسیار قوی یا شل می توانند به دستیابی به گزینش پذیری در سیستم های سیلیکا/ژرمانیوم کمک کنند. به طور همزمان، کنترل نقص خوب با نرخ حذف مواد کافی به دست آمد. بارهای سطحی دستکاری شده توسط جذب سورفکتانت و ماهیت آبگریز سطح ژرمانیوم معیارهای اصلی در انتخاب سیستم سورفکتانت/اکسیدکننده مناسب بودند. علاوه بر این، تاثیر افزودن سورفکتانت بر برهمکنش ذره-ذره کنترل کننده پایداری دوغاب نیز در این مقاله مورد بررسی قرار گرفت.
DOI 10.1149/06117.0037ecst
Cilt 61
مشاهده در منبع دانشگاه اوزیغین دانشگاه اوزیغین - موتور جستجوی نسخه های خطی عثمانی
دانشگاه اوزیغین - موتور جستجوی نسخه های خطی عثمانی دانشگاه اوزیغین

بهبود گزینش پذیری در کاربردهای CMP ژرمانیوم

نویسنده Karagöz، Ayşe، Başim، Gül Bahar
تاریخ انتشار 2014
محل انتشار - ECS
نوع سند
زبان انگلیسی
دیجیتال بله
نسخه خطی خیر
کتابخانه دانشگاه اوزیغین
شناسه دارایی کتابخانه 2-s2.0-84925339915
شماره ثبت a164f709-c2a6-49ab-a737-f59ad101a8a8
محل کتابخانه مهندسی مکانیک
تاریخ 2014
یادداشت‌ها با توجه به محدودیت های کپی رایت، دسترسی به متن کامل این مقاله تنها از طریق اشتراک امکان پذیر است.
متن نمونه در مقاله ارائه شده، ویژگی‌های جذب سورفکتانت‌های کاتیونی و آنیونی بر روی ژرمانیوم و سیلیس به منظور بهبود گزینش‌پذیری در کاربردهای صفحه‌نمایش مکانیکی شیمیایی جداسازی ترانشه کم عمق بر پایه ژرمانیوم مورد بررسی قرار گرفت. مشاهده شد که ساختارهای سورفکتانت خود مونتاژ شده بسیار قوی یا شل می توانند به دستیابی به گزینش پذیری در سیستم های سیلیکا/ژرمانیوم کمک کنند. به طور همزمان، کنترل نقص خوب با نرخ حذف مواد کافی به دست آمد. بارهای سطحی دستکاری شده توسط جذب سورفکتانت و ماهیت آبگریز سطح ژرمانیوم معیارهای اصلی در انتخاب سیستم سورفکتانت/اکسیدکننده مناسب بودند. علاوه بر این، تاثیر افزودن سورفکتانت بر برهمکنش ذره-ذره کنترل کننده پایداری دوغاب نیز در این مقاله مورد بررسی قرار گرفت.
DOI 10.1149/06117.0037ecst
Cilt 61
دانشگاه اوزیغین - موتور جستجوی نسخه های خطی عثمانی
دانشگاه اوزیغین شما در حال هدایت مجدد هستید...

لطفاً صبر کنید