تحسين الانتقائية في تطبيقات الجرمانيوم CMP
| العنوان | تحسين الانتقائية في تطبيقات الجرمانيوم CMP |
|---|---|
| المؤلف | كاراجوز، عائشة، باسيم، جول بهار |
| تاريخ النشر: | 2014 |
| مكان النشر | - ECS |
| النوع | وثيقة |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 2-s2.0-84925339915 |
| رقم السجل | a164f709-c2a6-49ab-a737-f59ad101a8a8 |
| موقع المكتبة | الهندسة الميكانيكية |
| التاريخ | 2014 |
| ملاحظات | نظرًا لقيود حقوق الطبع والنشر، فإن الوصول إلى النص الكامل لهذه المقالة متاح فقط عبر الاشتراك. |
| نص عينة | في هذا البحث تمت دراسة خصائص الامتزاز للمواد الخافضة للتوتر السطحي الكاتيونية والأنيونية على الجرمانيوم والسيليكا من أجل تحسين الانتقائية في تطبيقات الاستواء الميكانيكي الكيميائي لعزل الخنادق الضحلة القائمة على الجرمانيوم. وقد لوحظ أن هياكل الفاعل بالسطح القوية جدًا أو الفضفاضة المجمعة ذاتيًا يمكن أن تساعد في الحصول على انتقائية لأنظمة السيليكا/الجرمانيوم. في الوقت نفسه، تم الحصول على مراقبة جيدة للعيوب مع معدل إزالة المواد الكافية. كانت الشحنات السطحية التي يتم التلاعب بها عن طريق امتصاص الفاعل بالسطح والطبيعة الكارهة للماء لسطح الجرمانيوم هي المعايير الرئيسية لاختيار نظام الفاعل بالسطح/المؤكسد المناسب. بالإضافة إلى ذلك، تم أيضًا دراسة تأثير إضافة المادة الخافضة للتوتر السطحي على تفاعلات الجسيمات التي تتحكم في ثبات الملاط في الورقة. |
| DOI | 10.1149/06117.0037ecst |
| Cilt | 61 |
