توصيف الأغشية الرقيقة لأكسيد المعدن لتطوير الجيل الجديد من التخطيط الميكانيكي الكيميائي
| العنوان | توصيف الأغشية الرقيقة لأكسيد المعدن لتطوير الجيل الجديد من التخطيط الميكانيكي الكيميائي |
|---|---|
| المؤلف | باسيم، جول بحر، كاراكوز، عائشة |
| تاريخ النشر: | 2016 |
| مكان النشر | - الجمعية الكهروكيميائية |
| الموضوع | التوصيف، التلميع الميكانيكي الكيميائي، المواد العازلة، المركبات المعدنية، المعادن، الإلكترونيات الدقيقة، أفلام الأكسيد، تصنيع أجهزة أشباه الموصلات، أجهزة أشباه الموصلات، مواد أشباه الموصلات |
| النوع | دورية |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 1938-5862 |
| رقم السجل | 7d6a6dbc-1c36-44f6-b2df-e34f0cc51ead |
| موقع المكتبة | الهندسة الميكانيكية |
| التاريخ | 2016 |
| نص عينة | تهدف هذه الدراسة إلى إنشاء أساس لتطوير العملية في الجيل الجديد من صناعة أشباه الموصلات التي تتعامل مع أجهزة النطاق الذري. نحن نركز على تطوير عملية CMP حيث يتم استخدامها لمواد أشباه الموصلات الحالية والمستقبلية في صناعة الإلكترونيات الدقيقة للمواد المعدنية وأشباه الموصلات والعازلة للكهرباء. على وجه الخصوص، يتم عرض آليات التكوين وإزالة المستوى الذري للأغشية الرقيقة لأكسيد المعدن المستحث بـ CMP للطبقات المعدنية وتفاعل الطبقة الرطبة المعدلة كيميائيًا لأفلام أشباه الموصلات كتركيز لتصنيع أجهزة الجيل الجديد. |
| DOI | 10.1149/07203.0067ecst |
