دراسات الاستواء الميكانيكية الكيميائية على نيتريد الغاليوم لتحسين الأداء
| العنوان | دراسات الاستواء الميكانيكية الكيميائية على نيتريد الغاليوم لتحسين الأداء |
|---|---|
| المؤلف | كاراجوز، عائشة، باسيم، جول بهار، سيبرت، م.، ليونيسن، L. A. H. |
| تاريخ النشر: | 2015 |
| مكان النشر | - IEEE |
| الموضوع | أشباه الموصلات III-V، التلميع الميكانيكي الكيميائي، علم البلورات، مركبات الغاليوم، الاستواء، مركبات السيليكون، أشباه الموصلات ذات فجوة واسعة النطاق |
| النوع | وثيقة |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 2-s2.0-84964510423 |
| رقم السجل | 6ea789dd-2e3a-41c6-a49e-25e9ae01069a |
| موقع المكتبة | الهندسة الميكانيكية |
| التاريخ | 2015 |
| ملاحظات | نظرًا لقيود حقوق الطبع والنشر، فإن الوصول إلى النص الكامل لهذه المقالة متاح فقط عبر الاشتراك. |
| نص عينة | في هذه الدراسة، تم اتباع منهج تجريبي منهجي لتحديد الظروف اللازمة لتعزيز معدل إزالة المواد مع التحكم في عيب السطح لـ GaN CMP. تم استخدام الملاط المعتمد على السيليكا لتحسين ظروف CMP لعينة GaN التجارية كدالة لدرجة الحموضة ونوع وسادة التلميع والتكييف. بالإضافة إلى ذلك، تم تقييم استجابات CMP لأسطح GaN البلورية من النوع A وFace B ومقارنتها برقاقة GaN مقاس 2 بوصة ذات بنية بلورية سطحية غير معروفة. وقد لوحظ أن استجابات زاوية التلامس للأسطح البلورية المختلفة يمكن أن تساعد في تحديد نوع سطح GaN ودعم التنبؤ بأداء CMP في وقت واحد. |
