Yazar
Akbar, Wazir, Ertunç, Özgür
Basım Tarihi
2022-02-01
Basım Yeri
-
GİB Yayıncılığı
Tür
Süreli Yayın
Dil
İngilizce
Dijital
Evet
Yazma
Hayır
Kütüphane
Özyeğin Üniversitesi
Demirbaş Numarası
2162-8769
Kayıt Numarası
b8b85a50-8de7-480c-bcdc-906396df8335
Lokasyon
Makine Mühendisliği
Tarih
2022-02-01
Örnek Metin
Kimyasal mekanik düzlemselleştirme, yarı iletken imalat endüstrisinde düzlemsel yüzeyler elde etme işlemidir. Bir yüzeyin düzlemselleştirilmesi, levha yüzeyinden malzeme çıkarılmasıyla elde edilir. Malzeme çıkarma, malzeme özelliklerine ve proses giriş parametrelerine bağlıdır. Çeşitli çalışmalar, desenli bir levha üzerinde farklı malzemelerin belirli bir malzeme çıkarma seçiciliğini elde etmek için bulamaç kimyasının rolünü araştırmıştır. Burada, mekanik proses parametreleri için model bazlı bir optimizasyon kullanarak Cu/Mn/MnN sisteminin düzlemsel desenli yüzeyini elde etmeye yönelik bir metodoloji öneriyoruz. Parametreler uygulanan kuvveti, bulamaç katı konsantrasyonunu ve aşındırıcı parçacık boyutunu içerir. Metodoloji genetik algoritma kullanılarak optimizasyon yoluyla geliştirilmiştir. Önerilen metodoloji, istenen malzeme kaldırma seçiciliğini ve düzlemselliğini elde etmek için daha düşük bir bastırma kuvvetinin anahtar parametre olduğunu öne sürmektedir. Çalışmanın ilk kısmı, MRR'de daha düşük bir standart sapma elde etmek için düşük bir malzeme kaldırma oranı (MRR) önermektedir. İkinci kısım, söz konusu malzemelerin bilinen bir kalınlığını kaldırmak için gereken ortalama süre içinde kaldırılan kalınlıktaki standart sapmayı araştırır. Daha düşük bastırma kuvveti uygulamasının, kaldırılan kalınlıktaki standart sapmayı da en aza indirebileceği ve düzlemsel desenli bir yüzey elde edilebileceği bulunmuştur.
DOI
10.1149/2162-8777/ac4ffb
Cilt
11
