التحسين القائم على النموذج لمعلمات عملية CMP من أجل انتقائية موحدة لإزالة المواد في استواء النحاس / الحاجز
| العنوان | التحسين القائم على النموذج لمعلمات عملية CMP من أجل انتقائية موحدة لإزالة المواد في استواء النحاس / الحاجز |
|---|---|
| المؤلف | أكبر، وزير، إرتونك، أوزغور |
| تاريخ النشر: | 2022-02-01 |
| مكان النشر | - IOP للنشر |
| النوع | دورية |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 2162-8769 |
| رقم السجل | b8b85a50-8de7-480c-bcdc-906396df8335 |
| موقع المكتبة | الهندسة الميكانيكية |
| التاريخ | 2022-02-01 |
| نص عينة | الاستواء الميكانيكي الكيميائي هو عملية تحقيق الأسطح المستوية في صناعة تصنيع أشباه الموصلات. يتم تحقيق استواء السطح عن طريق إزالة المواد من سطح الرقاقة. تعتمد إزالة المواد على خصائص المادة ومعلمات إدخال العملية. بحثت العديد من الدراسات في دور كيمياء الملاط في تحقيق انتقائية معينة لإزالة المواد لمواد مختلفة على الرقاقة المنقوشة. نقترح هنا منهجية لتحقيق سطح منقوش مستو لنظام Cu/Mn/MnN باستخدام التحسين القائم على النموذج لمعلمات العملية الميكانيكية. تشمل المعلمات القوة المطبقة، وتركيز المادة الصلبة، وحجم الجسيمات الكاشطة. وقد تم تطوير المنهجية عن طريق التحسين باستخدام الخوارزمية الجينية. تشير المنهجية المقترحة إلى أن القوة السفلية المنخفضة هي المعلمة الأساسية لتحقيق انتقائية واستواء إزالة المواد المطلوبة. يقترح الجزء الأول من الدراسة انخفاض معدل إزالة المواد (MRR) لتحقيق انحراف معياري أقل في MRR. الجزء الثاني يبحث في الانحراف المعياري في السمك المزال في متوسط الوقت اللازم لإزالة سمك معروف للمواد قيد النظر. لقد وجد أن تطبيق قوة سفلية أقل يمكن أن يقلل أيضًا من الانحراف المعياري في السُمك الذي تمت إزالته ويمكن تحقيق سطح منقوش مستو. |
| DOI | 10.1149/2162-8777/ac4ffb |
| Cilt | 11 |
