Yazar
Başım, Gül Bahar, Karagöz, Ayşe, Özdemir, Zeynep
Basım Tarihi
2013
Basım Yeri
-
ECS
Tür
Belge
Dil
İngilizce
Dijital
Evet
Yazma
Hayır
Kütüphane
Özyeğin Üniversitesi
Demirbaş Numarası
978-1-60768-427-5
Kayıt Numarası
6e9c7e8a-b3f3-4661-b782-65ce21c3686b
Lokasyon
Makine Mühendisliği
Tarih
2013
Notlar
Telif hakkı kısıtlamaları nedeniyle bu makalenin tam metnine erişim yalnızca abonelik yoluyla mümkündür.
Örnek Metin
Bu makale, prosesin kimyasal bileşeninin bir sonucu olarak oluşan metal oksit ince filmlerin incelenmesi yoluyla mikroelektronik üretiminde metalik filmlerin CMP ile düzlemselleştirilmesine odaklanmaktadır. Tungsten düzlemselleştirme, metal oksit nano filmlerin cilalama sırasındaki oluşum özellikleri yoluyla malzeme giderimi sağlamadaki rolünü belirlemek için bir model olarak tartışılmaktadır. Bulgular, tungsten üzerinde, yüksek oksitleyici konsantrasyonlarında çekirdeklenme eğiliminde olan ve bulamaçtaki nano parçacıkların yüzey oksit tepecikleri ile etkileşimi yoluyla malzemenin uzaklaştırılmasını sağlayan koruyucu bir oksit film oluşumunu göstermektedir.
DOI
10.1149/05039.0003ecst
Cilt
50
