Yazar
Yaralıoğlu, Göksen Göksenin, Ergun, A. S., Bozkurt, A.
Basım Tarihi
2021-04-01
Basım Yeri
-
Amerikan Fizik Enstitüsü A.Ş.
Tür
Süreli Yayın
Dil
İngilizce
Dijital
Evet
Yazma
Hayır
Kütüphane
Özyeğin Üniversitesi
Demirbaş Numarası
0001-4966
Kayıt Numarası
ac936ef1-ba84-4a2c-8916-64149025bf91
Lokasyon
Elektrik ve Elektronik Mühendisliği
Tarih
2021-04-01
Örnek Metin
Kapasitif mikroişlenmiş ultrasonik dönüştürücü (CMUT), piezoelektrik dönüştürücüyle karşılaştırıldığında daha büyük bant genişliği ve elektronikle monolitik entegrasyon yeteneği gibi doğal avantajlara sahiptir. Cihazın en önemli eksikliği giriş ve çıkış hassasiyetleri arasındaki dengedir. Yeterli alım hassasiyeti, mikron altı boşluk yükseklikleriyle elde edilebilecek 105 V/m civarında bir elektrik alanı yoğunluğunu gerektirir. Ancak küçük bir boşluk cihazın strokunu ve dolayısıyla maksimum çıkış basıncını sınırlar. Bu makale, dikey boşluklu bir CMUT önererek bu sorunu ele almaktadır. Cihazın zarı, alt tabakada oluşturulan dikey bir silindirin yan duvarları ile çevrelenen bir piston parçasına sahiptir. Saçaklanan elektrik alanı pistonu dikey yönde çeker; dolayısıyla boşluk yüksekliği sabit kalır ve bu da cihazın stroku üzerindeki katı sınırı hafifletir. Önerilen cihazın performansı, teorik ve analitik yöntemlerle geleneksel CMUT'un performansıyla karşılaştırıldı ve bir mikro üretim yöntemi tasarlandı. Ayrıca konseptin kanıtı olarak milimetre ölçeğinde bir cihaz üretilmiş ve test edilmiştir.
DOI
10.1121/10.0003931
Cilt
149
