تجويف عمودي محول بالسعة
| العنوان | تجويف عمودي محول بالسعة |
|---|---|
| المؤلف | يارالي أوغلو، جوكسن جوكسينين، إرغون، أ.س.، بوزكورت، أ. |
| تاريخ النشر: | 2021-04-01 |
| مكان النشر | - المعهد الأمريكي للفيزياء |
| النوع | دورية |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 0001-4966 |
| رقم السجل | ac936ef1-ba84-4a2c-8916-64149025bf91 |
| موقع المكتبة | الهندسة الكهربائية والإلكترونية |
| التاريخ | 2021-04-01 |
| نص عينة | يتمتع محول الطاقة بالموجات فوق الصوتية ذو السعة الدقيقة (CMUT) بمزايا متأصلة، مثل عرض النطاق الترددي الأكبر وقدرة التكامل المتجانس مع الإلكترونيات، عند مقارنته بمحول الطاقة الكهرضغطية. العيب الأكثر أهمية في الجهاز هو المفاضلة بين حساسيات الإدخال والإخراج. تتطلب حساسية الاستقبال الكافية كثافة مجال كهربائي في حدود 105 فولت/م، وهو ما يمكن تحقيقه من خلال ارتفاعات الفجوة دون الميكرون. ومع ذلك، فإن وجود فجوة صغيرة يحد من شوط الجهاز، وبالتالي الحد الأقصى لضغط الإخراج. تتناول هذه الورقة هذه المشكلة من خلال اقتراح CMUT مع تجويف عمودي. يحتوي غشاء الجهاز على جزء مكبس محاط بالجدران الجانبية لأسطوانة عمودية مكونة في الركيزة. يسحب المجال الكهربائي التهديبي المكبس في الاتجاه الرأسي. ومن ثم، يظل ارتفاع الفجوة ثابتًا، مما يخفف من الحد الأقصى لحركة الجهاز. تتم مقارنة أداء الجهاز المقترح بأداء CMUT التقليدي بالطرق النظرية والتحليلية، وتم ابتكار طريقة التصنيع الجزئي. بالإضافة إلى ذلك، تم تصنيع واختبار جهاز بمقياس المليمتر كدليل على صحة المفهوم. |
| DOI | 10.1121/10.0003931 |
| Cilt | 149 |
