مبدل خازنی حفره عمودی

عنوان مبدل خازنی حفره عمودی
نویسنده یارالی اوغلو، گوکسن گوکسنین، ارگون، آ. س.، بوزکورت، ا.
تاریخ انتشار: 2021-04-01
محل انتشار - موسسه فیزیک آمریکا
نوع دوره ای
زبان انگلیسی
دیجیتال بله
نسخه خطی خیر
کتابخانه: دانشگاه اوزیغین
شناسه دارایی کتابخانه 0001-4966
شماره ثبت ac936ef1-ba84-4a2c-8916-64149025bf91
محل کتابخانه مهندسی برق و الکترونیک
تاریخ 2021-04-01
متن نمونه مبدل اولتراسونیک خازنی میکروماشین شده (CMUT) دارای مزایای ذاتی مانند پهنای باند بزرگتر و قابلیت یکپارچه سازی یکپارچه با الکترونیک در مقایسه با مبدل پیزوالکتریک است. مهمترین کاستی دستگاه، مبادله بین حساسیت ورودی و خروجی است. حساسیت دریافت کافی نیاز به شدت میدان الکتریکی در حدود 105 V/m دارد که می‌تواند با ارتفاع شکاف زیر میکرون به دست آید. با این حال، یک شکاف کوچک، سکته مغزی دستگاه و در نتیجه، حداکثر فشار خروجی را محدود می کند. این مقاله با پیشنهاد یک CMUT با یک حفره عمودی به این مشکل می پردازد. غشای دستگاه دارای یک قسمت پیستونی است که توسط دیواره های جانبی یک استوانه عمودی تشکیل شده در زیرلایه احاطه شده است. میدان الکتریکی حاشیه ای پیستون را در جهت عمودی می کشد. از این رو، ارتفاع شکاف ثابت باقی می ماند، که محدودیت سخت در ضربه دستگاه را کاهش می دهد. عملکرد دستگاه پیشنهادی با روش‌های نظری و تحلیلی با CMUT معمولی مقایسه شده و یک روش ساخت میکرو ابداع شده است. علاوه بر این، دستگاهی در مقیاس میلی متری تولید و به عنوان اثبات مفهومی آزمایش شده است.
DOI 10.1121/10.0003931
Cilt 149
مشاهده در منبع دانشگاه اوزیغین دانشگاه اوزیغین - موتور جستجوی آثار تاریخی، آرشیوها و نشریات
دانشگاه اوزیغین - موتور جستجوی آثار تاریخی، آرشیوها و نشریات دانشگاه اوزیغین

مبدل خازنی حفره عمودی

نویسنده یارالی اوغلو، گوکسن گوکسنین، ارگون، آ. س.، بوزکورت، ا.
تاریخ انتشار 2021-04-01
محل انتشار - موسسه فیزیک آمریکا
نوع دوره ای
زبان انگلیسی
دیجیتال بله
نسخه خطی خیر
کتابخانه دانشگاه اوزیغین
شناسه دارایی کتابخانه 0001-4966
شماره ثبت ac936ef1-ba84-4a2c-8916-64149025bf91
محل کتابخانه مهندسی برق و الکترونیک
تاریخ 2021-04-01
متن نمونه مبدل اولتراسونیک خازنی میکروماشین شده (CMUT) دارای مزایای ذاتی مانند پهنای باند بزرگتر و قابلیت یکپارچه سازی یکپارچه با الکترونیک در مقایسه با مبدل پیزوالکتریک است. مهمترین کاستی دستگاه، مبادله بین حساسیت ورودی و خروجی است. حساسیت دریافت کافی نیاز به شدت میدان الکتریکی در حدود 105 V/m دارد که می‌تواند با ارتفاع شکاف زیر میکرون به دست آید. با این حال، یک شکاف کوچک، سکته مغزی دستگاه و در نتیجه، حداکثر فشار خروجی را محدود می کند. این مقاله با پیشنهاد یک CMUT با یک حفره عمودی به این مشکل می پردازد. غشای دستگاه دارای یک قسمت پیستونی است که توسط دیواره های جانبی یک استوانه عمودی تشکیل شده در زیرلایه احاطه شده است. میدان الکتریکی حاشیه ای پیستون را در جهت عمودی می کشد. از این رو، ارتفاع شکاف ثابت باقی می ماند، که محدودیت سخت در ضربه دستگاه را کاهش می دهد. عملکرد دستگاه پیشنهادی با روش‌های نظری و تحلیلی با CMUT معمولی مقایسه شده و یک روش ساخت میکرو ابداع شده است. علاوه بر این، دستگاهی در مقیاس میلی متری تولید و به عنوان اثبات مفهومی آزمایش شده است.
DOI 10.1121/10.0003931
Cilt 149
دانشگاه اوزیغین - موتور جستجوی آثار تاریخی، آرشیوها و نشریات
دانشگاه اوزیغین شما در حال هدایت مجدد هستید...

لطفاً صبر کنید