Yazar
Hii, K.-F., Vallance, R. R., Mengüç, Mustafa Pınar
Basım Tarihi
2010-04
Basım Yeri
-
Elsevier
Konu
Nanopozisyonlama, Aktüatör, Motor, Piezoelektrik malzeme, Termal stabilite, Vakum uyumluluğu
Tür
Süreli Yayın
Dil
İngilizce
Dijital
Evet
Yazma
Hayır
Kütüphane
Özyeğin Üniversitesi
Demirbaş Numarası
0141-6359
Kayıt Numarası
fda59dbd-1997-4c7f-b61b-313ab4598547
Lokasyon
Makine Mühendisliği
Tarih
2010-04
Notlar
Telif hakkı kısıtlamaları nedeniyle bu makalenin tam metnine erişim yalnızca abonelik yoluyla mümkündür.
Örnek Metin
Bu makale, doğrusal öteleme için hassas bir piezoelektrik motorun tasarımını, çalışmasını ve hareket özelliklerini sunmaktadır. Motor kompakttır, termal olarak kararlıdır, ultra yüksek vakumla uyumludur ve milimetrelik hareket aralıklarında iyi çözünürlük gerektiren uygulamalar için uygundur. Motorun içinde, çevirici bir alümina prizma, prizma üzerindeki düz yüzeylere karşı altı kesme modlu piezoelektrik aktüatörü önceden yükleyen uyumlu bir süspansiyon tarafından sabit bir yapı içinde simetrik olarak sınırlandırılmıştır. Her bir piezoelektrik aktüatörün prizmanın yüzeyleri boyunca sırayla geriye doğru kaydırılması ve ardından tüm aktüatörlerin aynı anda ileri doğru hareket ettirilmesiyle tek bir adım elde edilir. Daha uzun çeviriler için birçok adım 60 Hz'de tekrarlanır. Deneyler şunları göstermektedir: adım boyutu 5 nm ile 225 nm arasında ayarlanabilir, motor 13,5 hıza ulaşabilir MathML kaynak/m/s'yi görüntüleyin, adım boyutu yaklaşık 1,2 nm'lik standart sapmayla son derece tekdüzedir, çeviriye dik yöndeki hata hareketi tepeden vadiye yaklaşık 800 nm'dir ve termal stabilite 40 nm/°C'den daha iyidir.
DOI
10.1016/j.precisioneng.2009.06.005
Cilt
34
