خصائص التصميم والتشغيل والحركة لمحرك خطي كهروضغطي دقيق
| العنوان | خصائص التصميم والتشغيل والحركة لمحرك خطي كهروضغطي دقيق |
|---|---|
| المؤلف | هاي، K.-F.، فالانس، R. R.، منجوك، مصطفى بينار |
| تاريخ النشر: | 2010-04 |
| مكان النشر | - إلسفير |
| الموضوع | تحديد المواقع النانوية، المحرك، المحرك، المواد الكهرضغطية، الاستقرار الحراري، التوافق مع الفراغ |
| النوع | دورية |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 0141-6359 |
| رقم السجل | fda59dbd-1997-4c7f-b61b-313ab4598547 |
| موقع المكتبة | الهندسة الميكانيكية |
| التاريخ | 2010-04 |
| ملاحظات | نظرًا لقيود حقوق الطبع والنشر، فإن الوصول إلى النص الكامل لهذه المقالة متاح فقط عبر الاشتراك. |
| نص عينة | تعرض هذه الورقة خصائص التصميم والتشغيل والحركة للمحرك الكهرضغطي الدقيق للترجمة الخطية. المحرك صغير الحجم، ومستقر حراريًا، ومتوافق مع الفراغ العالي جدًا، ومناسب للتطبيقات التي تتطلب دقة عالية على نطاقات سفر يبلغ طولها ملليمترًا. داخل المحرك، يتم تقييد منشور الألومينا المترجم بشكل متناظر داخل هيكل ثابت بواسطة نظام تعليق متوافق يقوم بتحميل ستة مشغلات كهرضغطية ذات وضع القص على الأسطح المسطحة على المنشور. يتم تحقيق خطوة واحدة عن طريق تحريك كل مشغل كهرضغطية بشكل تسلسلي للخلف على طول أسطح المنشور ثم تحريك جميع المحركات للأمام في نفس الوقت. يتم تكرار العديد من الخطوات عند 60 هرتز لترجمات أطول. تشير التجارب إلى أن: حجم الخطوة قابل للتعديل بين 5 نانومتر و225 نانومتر، يمكن للمحرك أن يصل إلى سرعات 13.5 عرض مصدر/ث MathML، حجم الخطوة موحد للغاية مع انحراف معياري يبلغ حوالي 1.2 نانومتر، حركة الخطأ في الاتجاه المتعامد للترجمة حوالي 800 نانومتر من الذروة إلى الوادي، والثبات الحراري أفضل من 40 نانومتر/ درجة مئوية. |
| DOI | 10.1016/j.precisioneng.2009.06.005 |
| Cilt | 34 |
