خیاطی نانوریبولوژی سیلیس برای بهینه سازی دوغاب CMP: رقابت کاتیون های Ca2+ در روانکاری با واسطه C12TAB
| عنوان | خیاطی نانوریبولوژی سیلیس برای بهینه سازی دوغاب CMP: رقابت کاتیون های Ca2+ در روانکاری با واسطه C12TAB |
|---|---|
| نویسنده | Vakarelski، I. U.، براون، S. C.، Başım، Gül Bahar، Rabinovich، Y. I.، Moudgil، B. M. |
| تاریخ انتشار: | 2010-04-12 |
| محل انتشار | - ACS |
| موضوع | مسطح سازی مکانیکی شیمیایی (CMP)، میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM)، تریبولوژی، سورفکتانت ها |
| نوع | دوره ای |
| زبان | انگلیسی |
| دیجیتال | بله |
| نسخه خطی | خیر |
| کتابخانه: | دانشگاه اوزیغین |
| شناسه دارایی کتابخانه | 1944-8244 |
| شماره ثبت | 210f7d05-584a-4183-8c34-537318d9ea45 |
| محل کتابخانه | مهندسی مکانیک |
| تاریخ | 2010-04-12 |
| یادداشتها | با توجه به محدودیت های کپی رایت، دسترسی به متن کامل این مقاله تنها از طریق اشتراک امکان پذیر است. |
| متن نمونه | نشان داده شده است که ساختارهای سورفکتانت خود مونتاژ شده در سطح مشترک جامد/مایع به عنوان پخش کننده نانوذرات عمل می کنند و قادر به ارائه یک لایه روانکاری مرزی بسیار موثر و خود ترمیم شونده در محیط های آبی هستند. با این حال، در برخی موارد بهویژه، برنامههای مسطحسازی مکانیکی شیمیایی (CMP) روانکاری اعمال شده توسط پراکندهکنندههای سورفکتانت خود مونتاژ شده میتواند بسیار قوی باشد، که منجر به سطوح نامطلوب پایین سایش یا اصطکاک حذف مواد میشود. در تحقیق حاضر، تأثیر افزودن کاتیون کلسیم (Ca2+) بر روانکاری سطوح سیلیسی با واسطه دودسیل تری متیل آمونیوم (C12TAB) از طریق میکروسکوپ نیروی اتمی معمولی و جانبی (AFM/LFM)، آزمایشهای پرداخت رومیزی و روشهای شناسایی سطحی مورد بررسی قرار گرفته است. نشان داده شده است که معرفی کاتیونهای جذبکننده رقابتی که میل سطحی گروه سرفکتانت را تعدیل میکنند، میتوانند برای تنظیم اصطکاک و سایش بدون به خطر انداختن پایداری پراکندگی استفاده شوند. انتظار میرود این سیستمهای تریبولوژیکی خود ترمیم شونده، برگشتپذیر و قابل تنظیم منجر به توسعه طرحهای روانکاری آبی هوشمند مبتنی بر سورفکتانت شوند، که شامل دوغابهای صیقلدهنده طراح و دستگاههایی است که از پدیدههای پاسخ اصطکاک دردار فشار بهره میبرند. |
| DOI | 10.1021/am100070e |
| Cilt | 2 |
