فرمولاسیون دوغاب با واسطه سورفکتانت برای کاربردهای Ge CMP

عنوان فرمولاسیون دوغاب با واسطه سورفکتانت برای کاربردهای Ge CMP
نویسنده باشیم، گل بهار، کاراگوز، آیشه، چن، ال.، واکلسکی، آی.
تاریخ انتشار: 2013
محل انتشار - انتشارات دانشگاه کمبریج
موضوع CMP، جنرال الکتریک، خود مونتاژ
نوع سند
زبان انگلیسی
دیجیتال بله
نسخه خطی خیر
کتابخانه: دانشگاه اوزیغین
شناسه دارایی کتابخانه 2-s2.0-84899822148
شماره ثبت 5e7a09a2-2404-42e5-8919-402e43521be1
محل کتابخانه مهندسی مکانیک
تاریخ 2013
یادداشت‌ها با توجه به محدودیت های کپی رایت، دسترسی به متن کامل این مقاله تنها از طریق اشتراک امکان پذیر است.
متن نمونه در این مطالعه، فرمول‌های دوغاب در حضور ساختارهای سورفکتانت خود مونتاژ شده برای کاربردهای Ge/SiO2 CMP در غیاب و حضور اکسیدکننده‌ها مورد بررسی قرار گرفت. هر دو میسل آنیونی (سدیم دودسیل سولفات-SDS) و کاتیونی (ستیل تری متیل آمونیوم بروماید-C12TAB) در فرمولاسیون دوغاب به عنوان تابعی از pH و غلظت اکسید کننده استفاده شدند. عملکرد CMP ویفرهای Ge و SiO2 از نظر میزان حذف مواد، گزینش پذیری و کیفیت سطح مورد ارزیابی قرار گرفت. پاسخ‌های سرعت حذف مواد نیز از طریق آزمون‌های نرخ سایش AFM برای به دست آوردن پاسخ سریع‌تر برای تحلیل‌های اولیه ارزیابی شد. ویژگی‌های جذب سورفکتانت از طریق پاسخ‌های ترشوندگی سطح ویفرهای Ge و SiO2 از طریق اندازه‌گیری زاویه تماس مورد مطالعه قرار گرفت. مشاهده شد که ساختارهای سورفکتانت خود مونتاژ شده می توانند به دستیابی به گزینش پذیری در سیستم سیلیکا/ژرمانیوم در غلظت های کم اکسید کننده در دوغاب کمک کنند.
DOI 10.1557/opl.2013.971
Cilt 1560
مشاهده در منبع دانشگاه اوزیغین دانشگاه اوزیغین - موتور جستجوی نسخه های خطی عثمانی
دانشگاه اوزیغین - موتور جستجوی نسخه های خطی عثمانی دانشگاه اوزیغین

فرمولاسیون دوغاب با واسطه سورفکتانت برای کاربردهای Ge CMP

نویسنده باشیم، گل بهار، کاراگوز، آیشه، چن، ال.، واکلسکی، آی.
تاریخ انتشار 2013
محل انتشار - انتشارات دانشگاه کمبریج
موضوع CMP، جنرال الکتریک، خود مونتاژ
نوع سند
زبان انگلیسی
دیجیتال بله
نسخه خطی خیر
کتابخانه دانشگاه اوزیغین
شناسه دارایی کتابخانه 2-s2.0-84899822148
شماره ثبت 5e7a09a2-2404-42e5-8919-402e43521be1
محل کتابخانه مهندسی مکانیک
تاریخ 2013
یادداشت‌ها با توجه به محدودیت های کپی رایت، دسترسی به متن کامل این مقاله تنها از طریق اشتراک امکان پذیر است.
متن نمونه در این مطالعه، فرمول‌های دوغاب در حضور ساختارهای سورفکتانت خود مونتاژ شده برای کاربردهای Ge/SiO2 CMP در غیاب و حضور اکسیدکننده‌ها مورد بررسی قرار گرفت. هر دو میسل آنیونی (سدیم دودسیل سولفات-SDS) و کاتیونی (ستیل تری متیل آمونیوم بروماید-C12TAB) در فرمولاسیون دوغاب به عنوان تابعی از pH و غلظت اکسید کننده استفاده شدند. عملکرد CMP ویفرهای Ge و SiO2 از نظر میزان حذف مواد، گزینش پذیری و کیفیت سطح مورد ارزیابی قرار گرفت. پاسخ‌های سرعت حذف مواد نیز از طریق آزمون‌های نرخ سایش AFM برای به دست آوردن پاسخ سریع‌تر برای تحلیل‌های اولیه ارزیابی شد. ویژگی‌های جذب سورفکتانت از طریق پاسخ‌های ترشوندگی سطح ویفرهای Ge و SiO2 از طریق اندازه‌گیری زاویه تماس مورد مطالعه قرار گرفت. مشاهده شد که ساختارهای سورفکتانت خود مونتاژ شده می توانند به دستیابی به گزینش پذیری در سیستم سیلیکا/ژرمانیوم در غلظت های کم اکسید کننده در دوغاب کمک کنند.
DOI 10.1557/opl.2013.971
Cilt 1560
دانشگاه اوزیغین - موتور جستجوی نسخه های خطی عثمانی
دانشگاه اوزیغین شما در حال هدایت مجدد هستید...

لطفاً صبر کنید