حل الفصل المحوري 500 نانومتر بواسطة التصوير المقطعي بالأشعة السينية متعدد الشرائح
| العنوان | حل الفصل المحوري 500 نانومتر بواسطة التصوير المقطعي بالأشعة السينية متعدد الشرائح |
|---|---|
| المؤلف | هوانغ، إكس، يان، إتش، جي، إم، أوزتورك، هاند، فانغ، واي.-إل. L.، Ha، S.، Lin، M.، Lu، M.، Nazaretsky، E.، Robinson، I. K.، Chu، Y. S. |
| تاريخ النشر: | 2019-03 |
| مكان النشر | - الاتحاد الدولي لعلم البلورات |
| الموضوع | التصوير التيكوغرافي بالأشعة السينية، أسلوب الشرائح المتعددة، البنى النانوية |
| النوع | دورية |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 2053-2733 |
| رقم السجل | 4cc683e6-d27a-4060-b6b0-75a0ed2647c4 |
| موقع المكتبة | الهندسة الميكانيكية |
| التاريخ | 2019-03 |
| ملاحظات | برنامج البحث والتطوير الموجه مع المختبر من مختبر بروكهافن الوطني؛ وزارة الطاقة الأمريكية (DOE) |
| نص عينة | يقدم التصوير المقطعي بالأشعة السينية متعدد الشرائح طريقة للحصول على صور ذات دقة نانومترية من عينات ذات سماكة أكبر من عمق مجال نظام التصوير من خلال نمذجة عينة سميكة كمجموعة من الشرائح الرفيعة وحساب تأثيرات انتشار واجهة الموجة داخل العينة. نقدم هنا عرضًا تجريبيًا يحل طبقتين من الهياكل النانوية مفصولة بمقدار 500 نانومتر على طول الاتجاه المحوري، مع دقة أقل من 10 نانومتر ودون 20 نانومتر على طبقتين، على التوالي. يتم قياس خرائط الإسفار في وقت واحد في نظام التصوير متعدد الأساليب للمساعدة في فصل مزيج ميزات التردد المكاني المنخفض عبر شرائح مختلفة. توضح قدرة التقسيم المحوري المحسنة باستخدام الإشارات المترابطة التي تم الحصول عليها من قياسات متعددة الأساليب الإمكانات الكبيرة لطريقة التيكوغرافيا متعددة الشرائح لفحص العينات ذات الأبعاد الممتدة في ثلاثية الأبعاد بدقة عالية. |
| DOI | 10.1107/S2053273318017229 |
| Cilt | 75 |
