توصيف السطح مدفوع بتحسين CMP لنتريد الغاليوم
| العنوان | توصيف السطح مدفوع بتحسين CMP لنتريد الغاليوم |
|---|---|
| المؤلف | Karagöz، Ayşe، Siebert، M.، Leunissen، P.، Başım، Gül Bahar |
| تاريخ النشر: | 2016 |
| مكان النشر | - ECS |
| الموضوع | تلميع ميكانيكي كيميائي |
| النوع | وثيقة |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 1938-5862 |
| رقم السجل | 3a049b2e-f7ba-47f3-a460-1c22b897d758 |
| موقع المكتبة | الهندسة الميكانيكية |
| التاريخ | 2016 |
| نص عينة | نيتريد الغاليوم عبارة عن مادة صلبة وخاملة كيميائيًا تقلل من معدلات إزالة المواد العالية في تطبيقات الاستواء الميكانيكي الكيميائي (CMP). تركز هذه الورقة على تحسين ظروف العملية لتعزيز معدلات إزالة المواد مع التحكم في عيوب السطح لـ GaN CMP. يتم تمييز اتجاهين بلوريين مختلفين لـ GaN ومقارنتهما برقاقة GaN التجارية مقاس 2 بوصة لتحسين أداء CMP على أساس الطبيعة البلورية للرقاقة وشحنة السطح والتضاريس. تم تقييم درجة الحموضة الملاط ونوع وسادة التلميع والتكييف المطبق لزيادة معدلات إزالة المواد من GaN مع تقليل تكوين العيوب وتعزيز الانتقائية ضد السيليكا. |
| DOI | 10.1149/07218.0055ecst |
| Cilt | 72 |
