توصيف الأغشية الرقيقة المعدلة كيميائياً لتحسين تطبيقات CMP المعدنية؟
| العنوان | توصيف الأغشية الرقيقة المعدلة كيميائياً لتحسين تطبيقات CMP المعدنية؟ |
|---|---|
| المؤلف | باشم، جول بهار، كاراكوز، عائشة، أوزدمير، زينب |
| تاريخ النشر: | 2013 |
| مكان النشر | - مطبعة جامعة كامبريدج |
| الموضوع | المواد الحيوية، البنية المجهرية، التفاعل الكيميائي |
| النوع | وثيقة |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 0272-9172 |
| رقم السجل | c6f201ed-a788-4175-8687-a34b3fe49174 |
| موقع المكتبة | الهندسة الميكانيكية |
| التاريخ | 2013 |
| ملاحظات | نظرًا لقيود حقوق الطبع والنشر، فإن الوصول إلى النص الكامل لهذه المقالة متاح فقط عبر الاشتراك. |
| نص عينة | تتطلب تطبيقات CMP المعدنية تكوين طبقة أكسيد واقية في وجود العوامل النشطة السطحية والمؤكسدات ومنظمات الأس الهيدروجيني والمواد الكيميائية الأخرى لتحقيق الاستواء الشامل. يحدد التكوين والخواص الميكانيكية للأغشية الرقيقة لأكسيد الفلز المعدل كيميائيًا في CMP الضغوط التي تتطور عند الواجهات التي تحدد الثبات والطبيعة الوقائية للأغشية المعدلة كيميائيًا على سطح الرقاقة المعدنية. يمكن استخدام التوازن بين الضغوط المضمنة في هيكل الفيلم مقابل الإجراءات الميكانيكية المقدمة أثناء العملية لتحسين متغيرات العملية، علاوة على المساعدة في تحديد تقنيات التخطيط الجديدة للجيل القادم من تصنيع الأجهزة الإلكترونية الدقيقة. في هذه الدراسة، ركزت الدراسات الأولية على تطبيقات التنغستن CMP الراسخة، علاوة على ذلك، تم تقديم تطبيقات CMP للتنغستن كجزء من منهجية هيكلة النانو السطحية للتطبيقات الطبية الحيوية من خلال التأكيد على التأثير التآزري لفيلم أكسيد المعدن الواقي من التيتانيوم في هذا التطبيق المتقدم. |
| DOI | 10.1557/opl.2013.876 |
| Cilt | 1560 |
