دراسة نمذجة حول تأثير التخطيط لنطاق السُمك داخل القالب لـ STI CMP
| العنوان | دراسة نمذجة حول تأثير التخطيط لنطاق السُمك داخل القالب لـ STI CMP |
|---|---|
| المؤلف | كينجال، س.، باسيم، جول بهار |
| تاريخ النشر: | 2013 |
| مكان النشر | - ECS |
| الموضوع | الاستواء الكيميائي والميكانيكي، عزل الخنادق الضحلة، التحسين |
| النوع | وثيقة |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 1938-5862 |
| رقم السجل | 209b0a82-7744-4cdd-9589-c4b6e5d713ba |
| موقع المكتبة | الهندسة الميكانيكية |
| التاريخ | 2013 |
| ملاحظات | نظرًا لقيود حقوق الطبع والنشر، فإن الوصول إلى النص الكامل لهذه المقالة متاح فقط عبر الاشتراك. |
| نص عينة | تتمتع عملية الاستواء الميكانيكي الكيميائي بسجل حافل كطريقة فعالة لاستواء سطح الرقاقة عند نقاط متعددة من تدفق تصنيع أشباه الموصلات. أحد الجوانب الأكثر تحديًا في عملية CMP، خاصة في تطبيقات مثل عزل الخنادق الضحلة (STI)، هو الاختلاف في معدلات الإزالة النسبية للمواد المختلفة التي يتم صقلها. مطلوب قدر معين من التلميع الزائد لإزالة الأكسيد الموجود أعلى النتريد، ومع ذلك، قد يؤدي هذا التلميع الزائد أيضًا إلى مشاكل كبيرة مثل التقطيع والتآكل (إدخال تضاريس إضافية بعد استواء الفيلم). يصوغ هذا العمل منهجية للتنبؤ بكيفية تعديل هذه التضاريس الإضافية من خلال خصائص التخطيط الواردة التي تقدم معلمة لتوصيف عرض الخط والمساحة بدقة على تخطيط بأشكال هندسية عشوائية. |
| DOI | 10.1149/05039.0083ecst |
| Cilt | 50 |
