تأثير تقادم الملاط على ثبات وأداء عملية الاستواء الميكانيكي الكيميائي
| العنوان | تأثير تقادم الملاط على ثبات وأداء عملية الاستواء الميكانيكي الكيميائي |
|---|---|
| المؤلف | رأسي يا روز الربيع |
| تاريخ النشر: | 2011-03 |
| مكان النشر | - إلسفير |
| الموضوع | الاستواء الميكانيكي الكيميائي (CMP)، شيخوخة الملاط، التكتل، المبيدات الحيوية، التثبيت الشديد |
| النوع | دورية |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 0921-8831 |
| رقم السجل | 1330ed58-f0a8-4409-aacc-3594982d10fc |
| موقع المكتبة | الهندسة الميكانيكية |
| التاريخ | 2011-03 |
| ملاحظات | نظرًا لقيود حقوق الطبع والنشر، فإن الوصول إلى النص الكامل لهذه المقالة متاح فقط عبر الاشتراك. |
| نص عينة | من المعروف أن الاستواء الميكانيكي الكيميائي (CMP) هو أحد أكثر العمليات تحديًا في تصنيع الإلكترونيات الدقيقة نظرًا لعدد المتغيرات المشاركة في تصميم العملية. على وجه الخصوص، يجب وصف الملاط المصنوع من جزيئات بحجم النانو والكيمياء القوية دفعة تلو الأخرى وكدالة للوقت لتمكين التصنيع القوي بكميات كبيرة. في هذه الدراسة، تم دراسة تأثير تقادم الملاط على أداء CMP بشكل منهجي للملاط العادي المعتمد على السيليكا وكذلك للملاط الذي يحتوي على مادة مضافة للمبيدات الحيوية العضوية لمنع تكوين البكتيريا. وكانت المعلمات التي تم فحصها هي توزيع حجم الجسيمات، وإمكانات زيتا، وعدد البكتيريا، وإجمالي تركيز الكربون العضوي، وذوبان أيون السيليكون، ومعدل إزالة المواد (MRR)، وجودة السطح. أشارت النتائج إلى أن الشيخوخة أثرت سلباً على أداء الملاط، وحتى مع إضافة المبيد الحيوي، لوحظ التلوث العضوي في فترات الشيخوخة الممتدة. انخفضت معدلات إزالة المواد بشكل ملحوظ مع تقدم السن ولوحظ المزيد من التشوهات السطحية على أسطح الرقاقة المصقولة بالملاط غير المستقر مع مرور الوقت. تم اكتشاف أن الملاط المحتوي على مبيد حيوي أكثر عرضة للتكتل وزيادة حجم الجسيمات مع مرور الوقت بعد تعرض الملاط للبيئة. علاوة على ذلك، تمت مناقشة تأثير تقادم الملاط لفترة قصيرة (التكييف) على خصائص الجسيمات للملاط الذي يحتوي على إضافات بوليمرية والتأثيرات الضارة للاستقرار الشديد في الملاط المحتوي على مواد خافضة للتوتر السطحي أيضًا من حيث العاملين الآخرين اللذين يمكن أن يسببا تباينًا في أداء ملاط CMP. |
| DOI | 10.1016/j.apt.2011.02.002 |
| Cilt | 22 |
