تأثير تكييف الوسادة على التحكم في سمك المظهر الجانبي في الاستواء الميكانيكي الكيميائي
| العنوان | تأثير تكييف الوسادة على التحكم في سمك المظهر الجانبي في الاستواء الميكانيكي الكيميائي |
|---|---|
| المؤلف | كينجال، س.، باسيم، جول بهار |
| تاريخ النشر: | 2013-01 |
| مكان النشر | - سبرينغر ساينس + بزنس ميديا |
| الموضوع | الاستواء الميكانيكي الكيميائي (CMP)، التكييف، نمذجة جوانب الوسادة، العيوب |
| النوع | دورية |
| اللغة | الإنجليزية |
| رقمي | نعم |
| مخطوط | لا |
| المكتبة: | جامعة اوزيجين |
| معرف أصل المكتبة | 1543-186X |
| رقم السجل | 47823b4c-f513-4e78-a1e9-c8d398686f27 |
| موقع المكتبة | الهندسة الميكانيكية |
| التاريخ | 2013-01 |
| ملاحظات | نظرًا لقيود حقوق الطبع والنشر، فإن الوصول إلى النص الكامل لهذه المقالة متاح فقط عبر الاشتراك. |
| نص عينة | لقد ثبت أن الاستواء الميكانيكي الكيميائي (CMP) هو أفضل طريقة لتحقيق التوحيد داخل الرقاقة وداخل القالب للتعدين متعدد المستويات. يتطلب تناقص أبعاد الجهاز وزيادة أحجام الرقاقات بشكل مستمر تحسين المستوى، مما يستلزم فهمًا أفضل لجميع متغيرات عملية CMP. أحد العوامل الحاسمة التي تم تسليط الضوء عليها مؤخرًا، وهو تكييف الوسادة، يؤثر على شكل سطح الوسادة وبالتالي شكل الرقاقة؛ بالإضافة إلى ذلك، فهو يقلل من العيوب عن طريق تحديث سطح الوسادة أثناء التلميع. يوضح هذا العمل التغييرات في شكل الرقاقة بعد الصقل كدالة لتآكل الوسادة. كما أنها تقدم نموذجًا لملف تعريف معدل إزالة مادة الرقاقة استنادًا إلى معادلة بريستون ذات الصلة محليًا من خلال تقدير ملف تعريف سمك اللوحة كدالة لوقت التلميع. والنتيجة هي مؤشر ديناميكي لكيفية تغير ملف تعريف معدل إزالة الرقاقة مع تقدم عمر اللوحة. يساعد النموذج على تحسين خصائص تشغيل مكيف الوسادة دون الحاجة إلى تجارب مكلفة وطويلة. يتم إثبات دقة النموذج من خلال التجارب وكذلك البيانات من خط إنتاج حقيقي. تشير كل من البيانات التجريبية وعمليات المحاكاة إلى أن حجم قرص التكييف الأصغر ونطاق مسح التكييف الممتد يساعدان على تحسين استواء الرقاقة بعد CMP. ومع ذلك، يميل العيب إلى الزيادة عندما يخرج قرص التكييف من نصف قطر الوسادة؛ ومن ثم، يجب تصميم تكييف الوسادة من خلال النظر في المتطلبات المحددة لعملية CMP التي تم إجراؤها. يتنبأ النموذج المعروض بنتائج العملية دون الحاجة إلى إجراء تجارب تفصيلية. |
| DOI | 10.1007/s11664-012-2250-z |
| Cilt | 42 |
