Yazar
Başım, Gül Bahar
Basım Tarihi
2011-03
Basım Yeri
-
Elsevier
Konu
Kimyasal mekanik düzlemselleştirme (CMP), Bulamaç yaşlandırma, Aglomerasyon, Biyosit, Aşırı stabilizasyon
Tür
Süreli Yayın
Dil
İngilizce
Dijital
Evet
Yazma
Hayır
Kütüphane
Özyeğin Üniversitesi
Demirbaş Numarası
0921-8831
Kayıt Numarası
1330ed58-f0a8-4409-aacc-3594982d10fc
Lokasyon
Makine Mühendisliği
Tarih
2011-03
Notlar
Telif hakkı kısıtlamaları nedeniyle bu makalenin tam metnine erişim yalnızca abonelik yoluyla mümkündür.
Örnek Metin
Kimyasal mekanik düzlemselleştirmenin (CMP), sürecin tasarımında yer alan değişkenlerin sayısı nedeniyle mikroelektronik üretiminde en zorlu süreçlerden biri olduğu bilinmektedir. Özellikle, nano boyutlu parçacıklardan ve agresif kimyasallardan oluşan bulamaçların, sağlam yüksek hacimli üretime olanak sağlamak için partiden partiye ve zamanın bir fonksiyonu olarak karakterize edilmesi gerekir. Bu çalışmada, çamurun yaşlanmasının CMP performansı üzerindeki etkisi, normal silika bazlı çamurun yanı sıra bakteri oluşumunu önlemek için organik biyosit katkısı içeren çamur için sistematik olarak araştırıldı. İncelenen parametreler parçacık boyutu dağılımı, zeta potansiyeli, bakteri sayısı, toplam organik karbon konsantrasyonu, silikon iyonu çözünmesi, malzeme çıkarma hızı (MRR) ve yüzey kalitesidir. Sonuçlar, yaşlanmanın çamur performansını olumsuz yönde etkilediğini ve biyosit ilavesiyle bile uzun yaşlanma dönemlerinde organik kirlenmenin gözlemlendiğini gösterdi. Yaşlanmayla birlikte malzeme kaldırma oranları önemli ölçüde azalmış ve geçen zamanla stabilitesi bozulan çamurlarla cilalanan levha yüzeylerinde daha fazla yüzey deformasyonu gözlemlenmiştir. Biyosit içeren çamurların, çamur çevreye maruz kaldıktan sonra zaman geçtikçe topaklanmaya ve parçacık boyutunun artmasına daha yatkın olduğu tespit edildi. Ayrıca, kısa süreli bulamaç yaşlanmasının (şartlandırma), polimerik katkı maddeleri içeren bulamaçların parçacık özellikleri üzerindeki etkisi ve yüzey aktif maddeler içeren bulamaçlardaki aşırı stabilitenin olumsuz etkileri, CMP bulamaç performansında değişkenliğe neden olabilecek diğer iki faktör açısından da tartışılmaktadır.
DOI
10.1016/j.apt.2011.02.002
Cilt
22
