Aramaya Dön

Germanyum CMP uygulamalarında seçiciliğin arttırılması

İsim	Germanyum CMP uygulamalarında seçiciliğin arttırılması
Yazar	Karagöz, Ayşe, Başım, Gül Bahar
Basım Tarihi:	2014
Basım Yeri	- ECS
Tür	Belge
Dil	İngilizce
Dijital	Evet
Yazma	Hayır
Kütüphane:	Özyeğin Üniversitesi
Demirbaş Numarası	2-s2.0-84925339915
Kayıt Numarası	a164f709-c2a6-49ab-a737-f59ad101a8a8
Lokasyon	Makine Mühendisliği
Tarih	2014
Notlar	Telif hakkı kısıtlamaları nedeniyle bu makalenin tam metnine erişim yalnızca abonelik yoluyla mümkündür.
Örnek Metin	Sunulan makalede, germanyum bazlı sığ hendek izolasyonu kimyasal mekanik düzlemselleştirme uygulamalarında seçiciliği arttırmak amacıyla katyonik ve anyonik yüzey aktif maddelerin germanyum ve silika üzerindeki adsorpsiyon özellikleri incelenmiştir. Çok güçlü veya gevşek kendiliğinden birleşen yüzey aktif madde yapılarının silika/germanyum sistemlerinde seçicilik elde edilmesine yardımcı olabileceği gözlemlendi. Eş zamanlı olarak yeterli malzeme çıkarma oranı ile iyi bir kusur kontrolü elde edildi. Yüzey aktif madde adsorpsiyonu tarafından manipüle edilen yüzey yükleri ve germanyum yüzeyinin hidrofobik yapısı, uygun yüzey aktif madde/oksitleyici sistemin seçiminde ana kriterlerdi. Ayrıca bu makalede sürfaktan ilavesinin çamur stabilitesini kontrol eden partikül-partikül etkileşimleri üzerindeki etkisi de araştırılmıştır.
DOI	10.1149/06117.0037ecst
Cilt	61

Kaynağa git Özyeğin Üniversitesi Özyeğin Üniversitesi - Osmanlıca el yazması arama motoru

Özyeğin Üniversitesi

Germanyum CMP uygulamalarında seçiciliğin arttırılması

Yazar Karagöz, Ayşe, Başım, Gül Bahar

Basım Tarihi 2014

Basım Yeri - ECS

Tür Belge

Dil İngilizce

Dijital Evet

Yazma Hayır

Kütüphane Özyeğin Üniversitesi

Demirbaş Numarası 2-s2.0-84925339915

Kayıt Numarası a164f709-c2a6-49ab-a737-f59ad101a8a8

Lokasyon Makine Mühendisliği

Tarih 2014

Notlar Telif hakkı kısıtlamaları nedeniyle bu makalenin tam metnine erişim yalnızca abonelik yoluyla mümkündür.

Örnek Metin Sunulan makalede, germanyum bazlı sığ hendek izolasyonu kimyasal mekanik düzlemselleştirme uygulamalarında seçiciliği arttırmak amacıyla katyonik ve anyonik yüzey aktif maddelerin germanyum ve silika üzerindeki adsorpsiyon özellikleri incelenmiştir. Çok güçlü veya gevşek kendiliğinden birleşen yüzey aktif madde yapılarının silika/germanyum sistemlerinde seçicilik elde edilmesine yardımcı olabileceği gözlemlendi. Eş zamanlı olarak yeterli malzeme çıkarma oranı ile iyi bir kusur kontrolü elde edildi. Yüzey aktif madde adsorpsiyonu tarafından manipüle edilen yüzey yükleri ve germanyum yüzeyinin hidrofobik yapısı, uygun yüzey aktif madde/oksitleyici sistemin seçiminde ana kriterlerdi. Ayrıca bu makalede sürfaktan ilavesinin çamur stabilitesini kontrol eden partikül-partikül etkileşimleri üzerindeki etkisi de araştırılmıştır.

DOI 10.1149/06117.0037ecst

Cilt 61