Yazar
Başım, Gül Bahar, Karagöz, Ayşe, Özdemir, Zeynep
Basım Tarihi
2013
Basım Yeri
-
Cambridge Üniversitesi Yayınları
Konu
Biyomateryal, Mikroyapı, Kimyasal reaksiyon
Tür
Belge
Dil
İngilizce
Dijital
Evet
Yazma
Hayır
Kütüphane
Özyeğin Üniversitesi
Demirbaş Numarası
0272-9172
Kayıt Numarası
c6f201ed-a788-4175-8687-a34b3fe49174
Lokasyon
Makine Mühendisliği
Tarih
2013
Notlar
Telif hakkı kısıtlamaları nedeniyle bu makalenin tam metnine erişim yalnızca abonelik yoluyla mümkündür.
Örnek Metin
Metal CMP uygulamaları, küresel düzlemselliği sağlamak için yüzey aktif maddeler, oksitleyiciler, pH düzenleyiciler ve diğer kimyasalların varlığında koruyucu bir oksit filminin oluşumunu gerektirir. CMP'deki kimyasal olarak değiştirilmiş metal oksit ince filmlerin oluşumu ve mekanik özellikleri, metal levhanın yüzeyindeki kimyasal olarak değiştirilmiş filmlerin stabilitesini ve koruyucu doğasını tanımlayan arayüzlerde gelişen gerilimleri belirler. Film yapısında oluşan gerilimler ile işlem sırasında sağlanan mekanik eylemler arasındaki denge, süreç değişkenlerini optimize etmek ve ayrıca yeni nesil mikroelektronik cihaz üretimi için yeni düzlemselleştirme tekniklerinin tanımlanmasına yardımcı olmak için kullanılabilir. Bu çalışmada, ön çalışmalar çok iyi bilinen tungsten CMP uygulamaları üzerine yoğunlaştırılmış ve ayrıca bu ileri uygulamada titanyumun koruyucu metal oksit filminin sinerjistik etkisi vurgulanarak biyomedikal uygulamalar için yüzey nano-yapılandırma metodolojisinin bir parçası olarak titanyum CMP uygulamaları sunulmuştur.
DOI
10.1557/opl.2013.876
Cilt
1560
