Yazar
Kıncal, S., Başım, Gül Bahar
Basım Tarihi
2013
Basım Yeri
-
ECS
Konu
Kimyasal-mekanik düzlemselleştirme, Sığ hendek izolasyonu, Optimizasyon
Tür
Belge
Dil
İngilizce
Dijital
Evet
Yazma
Hayır
Kütüphane
Özyeğin Üniversitesi
Demirbaş Numarası
1938-5862
Kayıt Numarası
209b0a82-7744-4cdd-9589-c4b6e5d713ba
Lokasyon
Makine Mühendisliği
Tarih
2013
Notlar
Telif hakkı kısıtlamaları nedeniyle bu makalenin tam metnine erişim yalnızca abonelik yoluyla mümkündür.
Örnek Metin
Kimyasal Mekanik Düzlemselleştirme işlemi, yarı iletken üretim akışının birçok noktasında levha yüzeyinin düzlemselleştirilmesi için etkili bir yöntem olarak kanıtlanmış bir geçmiş performansa sahiptir. Özellikle Sığ Hendek İzolasyonu (STI) gibi uygulamalarda CMP sürecinin en zorlu yönlerinden biri, cilalanan farklı malzemelerin göreceli uzaklaştırma oranlarındaki farklılıktır. Nitritin üstündeki oksidi temizlemek için belirli bir miktarda aşırı cila gerekir, ancak bu aşırı cila aynı zamanda çukurlaşma ve erozyon gibi önemli sorunlara da yol açabilir (film düzlemselleştirildikten sonra ek topografyaya neden olur). Bu çalışma, bu ek topografyanın, gelen yerleşim özellikleri tarafından nasıl modüle edildiğini tahmin etmek için, rastgele geometrik şekillere sahip bir düzende çizgi ve alan genişliğini doğru bir şekilde karakterize etmek için bir parametre sunan bir metodoloji formüle etmektedir.
DOI
10.1149/05039.0083ecst
Cilt
50
